센터 연구장비 현황 (1/4)

No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액 [ 천원 ]

비고

1Multi-

Chamber Cluster

09SN57

비정질실리콘 박막 제조

박막형 태양전지제조

이종접합 태양전지 제조

고온급속열처리

3,000,000

2

4 probe point mea-

surement

반도체 저항 , 면저항 및 비저항

측정20,000

3 QSSPC WCT-100실리콘 웨이퍼

소수반송자 수명 측정

50,000

4Resistivity

Meter

박막 저항 , 면저항 및 비저항

측정50,000

5Optical micro-scope

광학현미경 20,000

센터 연구장비 현황 (2/4)

No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액 [ 천원 ]

비고

6

Laser nano par-ticle sys-

tem

10SN011

결정질 실리콘 나노 파티클 제조 및 비정질 실리콘 박막제조를 통한

합성

200,000

7Thermal evapora-

tor

소면적 태양전지 전극 형성 및

금속 박막 제조100,000

8Thermal evapora-

torSM-EA

40cmX40cm대면적 태양전지

전극 형성 및 금속 박막 제조

200,000

9

Nano-par-ticle thin films de-position system

결정질 실리콘 나노 입자 제조 및

비정질 실리콘 박막층 합성

250,000

10 Furnace 고온열처리 장치 50,000

센터 연구장비 현황 (3/4)

No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액 [ 천원 ]

비고

11

One step ZnO self texturing process system

ZnO 박막 제조 및 표면 구조화

100,000

12

Mag-netron Sputter system

3 세대 양자점 태양전지 제조를

위한 비정질 실리콘 박막 제조

200,000

13

3gun RF/DC mag-netron

sputtering system

MS200-413G

전도성 박막 제조 및 이종접합

태양전지 투명전도막 제조

200,000

14Solar sim-ulator sys-

temLAB200

인공광원을 이용한 태양전지

측정150,000

15Screen printer

결정질 실리콘 태양전지 금속

전극 형성

20,000( 공압 )30,000( 전자식 )

총 50,000(2 기 합 )

센터 연구장비 현황 (4/4)

No. 연구장비명 규격 및 모델 용도 금액 [ 천원 ]

비고

16RTP sys-

tem진공 고온 급속

열처리 공정500,000

17Convec-tion oven

결정질 실리콘 태양전지 전극

소성

2,000(1기 )

8,000( 총 4 기 )

18Dark I-Vsystem

암상태 태양전지 특성 분석

20,000

19DI Water system

대용량 초순수 여과장치

20,000

20