Gravure en plasma dense fluorocarboné de matériaux organosiliciés à faible constante diélectrique (SiOCH, SiOCH poreux). Etude dun procédé de polarisation.
1/5 Journées Techniques Routes 2013 Nantes – 6 & 7 février 2013 Atelier R5G : le système SMARTVIA® et la technologie PEGASE appliqués au projet CCLEAR.